硅外延工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，Perfectus-A 主要应用于同质外延层 (Si/Si) 生长，用于制造半导体分立器件和集成电路，通过生长高质量的外延层，可以提高 CMOS栅氧化层完整性、改善沟道漏电、提高集成电路可靠性。
常压外延设备
硅外延工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，Perfectus-A 主要应用于同质外延层 (Si/Si) 生长，用于制造半导体分立器件和集成电路，通过生长高质量的外延层，可以提高 CMOS栅氧化层完整性、改善沟道漏电、提高集成电路可靠性。
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