Auroalis 系列等离子体增强化学气相沉积镀膜系统，搭载于研微双反应平台 Celeritas-8，支持 8 片晶圆在独立反应腔内成膜，同时满足高产能和高膜质的需求。Auroalis 系列产品通过优化的流场、热场及 RF 回路设计保证了工艺的高稳定性；陶瓷静电吸盘选项为解决晶圆翘曲问题提供了保障；腔室组件材料和表面处理流程的优化使得颗粒问题得到有效控制。Auroalis 为从平面架构到高深宽比 3D 结构的广大客户群提供用于多种器件类型和工艺节点的解决方案。
等离子体增强化学气相沉积设备
Auroalis 系列等离子体增强化学气相沉积镀膜系统，搭载于研微双反应平台 Celeritas-8，支持 8 片晶圆在独立反应腔内成膜，同时满足高产能和高膜质的需求。Auroalis 系列产品通过优化的流场、热场及 RF 回路设计保证了工艺的高稳定性；陶瓷静电吸盘选项为解决晶圆翘曲问题提供了保障；腔室组件材料和表面处理流程的优化使得颗粒问题得到有效控制。Auroalis 为从平面架构到高深宽比 3D 结构的广大客户群提供用于多种器件类型和工艺节点的解决方案。
晶圆翘曲及颗粒控制
优化的 RF 回路设计
对称的热场、流场设计
注重人机交互体验的软件设计
多款产品统一平台，降低学习和维护成本