自主知识产权
26项专利技术支撑，包括最新授权的
“半导体处理装置智能调节机构”（专利号CN 118497707 B）
国际化研发团队
海归博士核心技术团队，
技术指标对标国际先进水平
快速响应服务
提供远程诊断、现场维护及工艺优化培训，
降低客户停机风险
通过自主研发的薄膜沉积、精密控制及检测技术，助力客户实现设备升级、工艺优化与国产替代
根据客户需求提供非标模块设计，如特殊尺寸反应腔、兼容多工艺的集成化平台
26项专利技术支撑，包括最新授权的
“半导体处理装置智能调节机构”（专利号CN 118497707 B）
海归博士核心技术团队，
技术指标对标国际先进水平
提供远程诊断、现场维护及工艺优化培训，
降低客户停机风险
提升器件耐压与散热性能
实现高频信号低损耗传输
优化OLED发光层均匀性
增强芯片互联可靠性
