致力于高端ALD、PECVD和特色外延设备的开发及应用

研微(江苏)半导体科技有限公司(简称研微半导体),总部位于无锡,凝聚了全球薄膜沉积设备领域顶尖人才的跨国研发团队,核心成员由10余位海外博士领衔,其中五人入选国家级人才计划。公司专注于高端ALD、PECVD以及特色外延设备技术,生产具有自主知识产权且具备国际竞争力的产品,涵盖tALD、PEALD、SI EPI、SiC EPI 、PECVD等核心技术,产品广泛应用于高端集成电路、功率器件、射频元件及先进封装领域。研微半导体打造覆盖设备全生命周期的服务体系,从工艺调试、技术培训到24小时快速响应,依托精密零部件管理体系与稳定供应链,确保客户产线高效运行。

70
研发人员占比>70%
60
硕博比例>60%
5
国家人才5位
1500
研发办公1500㎡
10000
洁净室及生产厂房10000㎡
50
总部50亩(规划中)

企业文化

企业理念

以技术创新为豪
与优秀人才为伍

核心价值观

求实 创新 合力 担当

企业愿景

引领原子级制造技术
开拓高端微纳设备前沿

资质荣誉

无锡市半导体薄膜沉积设备重点实验室

NUS-PSR 半导体设备大数据联合实验室

二零二三年度产业强区新兴产业奖

第三代半导体产业技术创新战略联盟第二届会员单位

江南大学实习基地

ISO9001质量管理体系

知识产权合规管理体系IPMS

无锡市半导体薄膜沉积设备重点实验室
NUS-PSR 半导体设备大数据联合实验室
二零二三年度产业强区新兴产业奖
第三代半导体产业技术创新战略联盟第二届会员单位
江南大学实习基地
ISO9001质量管理体系
知识产权合规管理体系IPMS

发展历程

2025

发展中……

2024

减 压 Si/Ge 外 延、8 寸 SiC 外 延、PEALD、Mo ALD、PECVD等产品做首台机组装,

并进行工艺开发多款沉积机台进入客户研发和量产线进行 DEMO 验证并量产
获得第三代半导体产业技术创新战略联盟第二届会员单位
获得 ISO9001 质量管理体系认证证书
获得 GB/T29490 知识产权管理体系认证证书

2023

与新加坡国立大学签署战略合作并成立 NUS-PSR半导体设备大数据联合实验室

大通路厂区一期启用半导体无尘实验室High-k ALD、常压 Si/Ge 外延、

6 寸 SiC 外延等产品首台机组装完成,并进行工艺开发

获得 2023 年度产业强区新兴产业奖

2022

PSR 研微成立

入驻无锡经济开发区

挂牌无锡市半导体薄膜沉积设备重点实验室

完成天使轮融资

2025
2024
2023
2022

社会责任

研微半导体致力于在追求企业发展的同时,积极履行社会责任,为社会和环境的可持续发展做出贡献。

可持续发展与环境保护

绿色制造

采用高效节能技术,减少生产过程中的能源消耗和废弃物排放。

环境保护

开发环保型半导体设备,推动行业向绿色制造转型。

员工福利与关怀

福利待遇

提供有竞争力的薪酬和福利,提高员工满意度。

职业发展

为员工提供培训和职业发展机会,促进个人成长。

社会贡献与参与

产学合作

与高校合作,培养技术人才,推动科研与产业结合。

社区参与

鼓励员工参与社区服务,回馈社会。

行业标准与合规

遵守标准

例如SEMI、IPMS等标准,涉及环境、健康、安全等方面,
确保半导体设备的生产和使用符合行业最佳实践,确保产品质量和安全。

技术创新

推动行业技术进步,提升行业标准。

可持续发展与环境保护

员工福利与关怀

社会贡献与参与

行业标准与合规

可持续发展与环境保护

员工福利与关怀

社会贡献与参与

行业标准与合规